ʻO ka ʻenehana paipu kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe he ʻāpana koʻikoʻi o ka ʻōnaehana hoʻolako kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe, ʻo ia ka ʻenehana kiʻekiʻe e hāʻawi i ke kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe i makemake ʻia a hiki i ka hoʻohana ʻana a mālama mau i ka maikaʻi kūpono;Loaʻa ka ʻenehana paipu kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe i ka hoʻolālā kūpono o ka ʻōnaehana, ke koho ʻana i nā lako a me nā mea pono, ke kūkulu ʻana a me ka hoʻokomo ʻana, a me ka hoʻāʻo ʻana.I kēia mau makahiki i hala iho nei, ʻo nā koi koʻikoʻi e pili ana i ka maʻemaʻe a me ka haumia o nā kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe i ka hana ʻana o nā huahana microelectronics i hōʻike ʻia e nā kaʻa hoʻohui nui i hoʻonui ʻia ka ʻenehana paipu o nā kinoea maʻemaʻe kiʻekiʻe.He ʻike pōkole kēia o ka paipu kinoea maʻemaʻe kiʻekiʻe mai ke koho ʻana i nā meaof ke kūkulu ʻana, a me ka ʻae a me ka hoʻokele ʻana i kēlā me kēia lā.
Nā ʻano kinoea maʻamau
Hoʻokaʻawale i nā kinoea maʻamau i ka ʻoihana uila：
Nā kinoea maʻamau（kinoea nui）: hydrogen (H2), nitrogen (N2), oxygen (O2), argon (A2), etc.
Nā kinoea kūikawāhe SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… etc.
Hiki ke helu ʻia nā ʻano kinoea kūikawā ma ke ʻano he corrosivekinoea, ʻonakinoea, hikiwawekinoea, hikiwawekinoea, inertkinoea, etc. ʻO nā kinoea semiconductor maʻamau i hoʻohana pinepine ʻia e like me kēia.
(i) ʻAiʻino / ʻonakinoea: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… etc.
(ii) Ka hikiwawekinoea: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… a pēlā aku.
(iii) hikiwawekinoea: O2, Cl2, N2ʻO, NF3… etc.
(iv) Inertkinoea: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He…etc.
Nui nā kinoea semiconductor i mea pōʻino i ke kino kanaka.ʻO kekahi o kēia mau kinoea, e like me SiH4 ka hoʻopau wale ʻana, inā lōʻihi ka leak e hana ikaika me ka oxygen i ka lewa a hoʻomaka e wela;a me AsH3ʻona loa, hiki i kekahi leakage liʻiliʻi ke hoʻopilikia i ke ola o ke kanaka, no kēia mau pōʻino maopopo, no laila ke kiʻekiʻe loa nā koi no ka palekana o ka hoʻolālā ʻōnaehana.
Ka laulā o nā kinoea
Ma ke ʻano he kumu waiwai nui o ka ʻoihana hou, hoʻohana nui ʻia nā huahana kinoea, a ua hoʻohana ʻia ka nui o nā kinoea maʻamau a i ʻole nā kinoea kūikawā i ka metallurgy, ke kila, ka ʻaila, ka ʻoihana kemika, nā mīkini, nā mea uila, nā aniani, nā seramika, nā mea kūkulu hale, kūkulu hale. , hana meaʻai, lāʻau lapaʻau a me nā ʻoihana lapaʻau.He hopena koʻikoʻi ka hoʻohana ʻana i ke kinoea i ka ʻenehana kiʻekiʻe o kēia mau māla, a ʻo kāna mea pono kino kinoea a i ʻole ka hana kinoea.Me nā pono a me ka hoʻolaha ʻana o nā ʻano ʻenehana hou a me ka ʻepekema a me ka ʻenehana hou, hiki ke hoʻomohala ʻia nā huahana ʻoihana kinoea e ka lele a me nā palena ma ke ʻano o nā ʻano like ʻole, ka maikaʻi a me ka nui.
Hoʻohana kinoea i ka microelectronics a me ka ʻoihana semiconductor
ʻO ka hoʻohana ʻana i ke kinoea he hana koʻikoʻi i ke kaʻina semiconductor, ʻoi aku ka nui o ke kaʻina semiconductor i hoʻohana nui ʻia i nā ʻoihana like ʻole, mai ka ULSI kuʻuna, TFT-LCD a hiki i ka ʻoihana micro-electro-mechanical (MEMS) i kēia manawa, nā mea āpau. ka mea i hoʻohana i ke kaʻina hana semiconductor e like me ke kaʻina hana o nā huahana.He hopena koʻikoʻi ka maʻemaʻe o ke kinoea i ka hana o nā ʻāpana a me nā hua huahana, a ʻo ka palekana o ka lako kinoea e pili ana i ke olakino o nā limahana a me ka palekana o nā hana mea kanu.
ʻO ke koʻikoʻi o ka paipu hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe i ka lawe kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe
Ma ke kaʻina hana o ka hoʻoheheʻe ʻana a me ka hana ʻana i nā mea, ma kahi o 200g o ke kinoea hiki ke hoʻopili ʻia i kēlā me kēia ton.Ma hope o ka hana ʻana o ke kila kila, ʻaʻole wale kona ʻili i paʻa me nā mea haumia like ʻole, akā i loko o kāna lattice metala hoʻi i komo i kahi nui o ke kinoea.Ke holo ka ea ma ka pipeline, komo ka metala i kēia ʻāpana o ke kinoea e komo hou i ka ea, e hoʻohaumia i ke kinoea maʻemaʻe.Ke holo ka ea i loko o ka paipu, hoʻopili ka paipu i ke kinoea ma lalo o ke kaomi, a i ka pau ʻana o ka holo ʻana o ka ea, ʻo ke kinoea i hoʻopili ʻia e ka paipu e hana i kahi hāʻule kaomi e hoʻoholo ai, a komo pū ke kinoea hoʻoholo i ke kinoea maʻemaʻe i loko o ka paipu. e like me na haumia.I ka manawa like, hoʻopuka hou ʻia ka adsorption a me ka hoʻonā ʻana, no laila e hana pū ka metala ma ka ʻaoʻao o loko o ka paipu i kekahi nui o ka pauka, a ʻo kēia mau ʻāpana lepo metala hoʻi e hoʻohaumia i ke kinoea maʻemaʻe i loko o ka paipu.He mea nui kēia ʻano o ka paipu e hōʻoia i ka maʻemaʻe o ke kinoea i lawe ʻia, ʻaʻole pono wale ka maʻemaʻe kiʻekiʻe o ka ʻili o loko o ka paipu, akā ke kūpaʻa kiʻekiʻe.
Ke hoʻohana ʻia ke kinoea me ka hana corrosive ikaika, pono e hoʻohana ʻia nā paipu kila kila no ka paipu.A i ʻole, e hoʻopuka ka paipu i nā wahi ʻino ma ka ʻili o loko ma muli o ka pala, a i nā hihia koʻikoʻi, aia kahi wahi nui o ka wehe ʻana a i ʻole ka perforation, kahi e hoʻohaumia ai ke kinoea maʻemaʻe e puʻunaue ʻia.
ʻO ka pilina o ka hoʻoili kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe a me ka hoʻokaʻawale ʻana i nā pipeline o nā kahe kahe nui.
Ma ke kumu, ua welded ia mau mea a pau, a me nā paipu i hoʻohana ʻia ʻaʻohe loli i ka hui ke hoʻohana ʻia ka welding.ʻO nā mea me ke kiʻekiʻe o ka carbon content e pili ana i ka ea permeability o nā ʻāpana welded i ka wā e wili ai, e hana ai i ke komo ʻana o nā kinoea i loko a i waho o ka paipu a hoʻopau i ka maʻemaʻe, maloʻo a me ka maʻemaʻe o ke kinoea i lawe ʻia, ka hopena i ka nalowale o ka. ko makou hooikaika ana.
I ka hōʻuluʻulu manaʻo, no ke kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe a me ka pipeline hoʻoili kinoea kūikawā, pono e hoʻohana i kahi hoʻomaʻamaʻa kūikawā o ke kiʻekiʻe maʻemaʻe stainless steel paipu, e hana i ka ʻōnaehana pipeline maʻemaʻe kiʻekiʻe (me nā paipu, nā mea pono, nā kiwi, VMB, VMP) i loko. ʻO ka hāʻawi kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe e noho i kahi misionari koʻikoʻi.
ʻO ka manaʻo nui o ka ʻenehana maʻemaʻe no ka hoʻouna ʻana a me ka hāʻawi ʻana i nā paipu
ʻO ka hoʻouna ʻana i ke kino kinoea maʻemaʻe a maʻemaʻe me ka paipu, ʻo ia ka mea aia kekahi mau koi a i ʻole ka mana no nā ʻano ʻekolu o ke kinoea e lawe ʻia.
Hoʻomaʻemaʻe kinoea: ʻO ka ʻike o ka lewa haumia i loko o ka maʻemaʻe gGas: ʻO ka ʻike o ka lewa haumia i loko o ke kinoea, i hōʻike pinepine ʻia ma ke ʻano he pākēneka o ka maʻemaʻe kinoea, e like me 99.9999%, i hōʻike ʻia hoʻi e like me ka ratio leo o ka ʻenekini haumia maʻamau ppm, ppb, ppt.
Māloʻo: ʻo ka nui o ka mākū i loko o ke kinoea, a i ʻole ka nui i kapa ʻia ʻo ka pulu, i hōʻike pinepine ʻia ma ke ʻano o ka hau, e like me ke kaha hau hau -70.C.
Maʻemaʻe: ʻo ka helu o nā ʻāpana haumia i loko o ke kinoea, ka nui o ka µm, ka nui o nā ʻāpana/M3 e hōʻike ai, no ka ea paʻa, e hōʻike pinepine ʻia ma ke ʻano o ka nui o nā mg/m3 o nā koena paʻa hiki ʻole ke pale ʻia, e uhi ana i ka ʻaila. .
Ka helu ʻana i ka nui o ka pollutant: nā mea pollutant, e pili ana i ka pipeline scouring, ʻaʻahu, corrosion i hana ʻia e nā ʻāpana metala, nā ʻāpana soot atmospheric, a me nā microorganisms, phages a me nā droplets condensation kinoea, etc., e like me ka nui o kona nui. ua maheleia i
a) Nā ʻāpana nui - ka nui o ka nui ma luna o 5μm
b) Particle - mea anawaena ma waena o 0.1μm-5μm
c) Nā ʻāpana liʻiliʻi ultra-micro - ka nui o ka nui ma lalo o 0.1μm.
I mea e hoʻonui ai i ka hoʻohana ʻana i kēia ʻenehana, i hiki ke ʻike i ka ʻike perceptual o ka nui o nā ʻāpana a me nā ʻāpana μm, hāʻawi ʻia kahi hoʻonohonoho o ke kūlana kikoʻī kikoʻī no ka kuhikuhi.
ʻO kēia ka hoʻohālikelike o nā ʻāpana kikoʻī
| Ka inoa / nui ʻāpana (µm) | Ka inoa / nui ʻāpana (µm) | Ka inoa/ ka nui o ka ʻāpana (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Nukelea wahie 0.01-0.1 | Pena 0.1-6 | Lehu lele 1-200 |
| ʻeleʻele kalapona 0.01-0.3 | ʻO ka waiu pauka 0.1-10 | Pesticide 5-10 |
| Resin 0.01-1 | ʻO ka bacteria 0.3-30 | lepo sima 5-100 |
| Uahi paka 0.01-1 | He lepo lepo 0.5-5 | Pollen 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Pesticide 0.5-10 | ʻO ka lauoho kanaka 50-120 |
| ʻO ka paʻakai crystallized 0.03-0.5 | lepo sulfur paʻa 1-11 | Ke one kai 100-1200 |
Ka manawa hoʻouna: Iune-14-2022